электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением

mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. demagnifying electron-beam projection lithography vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f rus. электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением, f pranc. lithographie de projection par faisceau d'électrons à diminution d'image, f